真空泵的需要考慮哪些原則？

　　真空泵的性能在很大程度上決定了真空系統的性能，在選用真空泵時(shí)，應考慮以下幾點(diǎn)原則：

　　(1)能否獲得所需要的工作真空度和極限真空度。

　　(2)對被抽氣體是否有足夠大的抽速。

　　(3)真空系統的殘余氣體成分是否合乎要求。

　　(4)設備價(jià)格和維持運行費用的高低。

　　(5)可靠性和操作難易程度。

　　擴散泵系統是比較常用的高真空系統，一般可以獲得10一~10巧Pa的工作真空，使用特別設計的擴散泵及采用性能良好的擴散泵油，再在泵的人口端使用擋油板和液氮冷阱，加以充分的烘烤除氣措施，可以獲得10 - Pa的極限真空。擴散泵系統的特點(diǎn)是對各種氣體都能抽除，適宜長(cháng)時(shí)間連續工作，擴散泵沒(méi)有噪聲，價(jià)格比較低。缺點(diǎn)是開(kāi)啟或停止系統工作很耗時(shí)，工作效率低，油污染嚴重。

　　用機械泵作為前級泵的渦輪分子泵系統，是目前常用的高真空系統，有取代擴散泵系統的趨勢。分子泵系統可以獲得10。1~10 -6Pa的工作真空，可達到10 -8Pa的極限壓強。分子泵系統的優(yōu)點(diǎn)：對各種氣體的抽速差別不大，起動(dòng)快、油污染很輕，稱(chēng)之為半無(wú)油系統;能耗較低，容易做到自動(dòng)控制。缺點(diǎn)：價(jià)格較高，顆粒物落人泵內容易損壞。適用于要求油污染少且連續排除中等流量氣體的場(chǎng)合。

　　建立全無(wú)油的超高真空系統，可以采用濺射離子泵和低溫吸附泵組成的系統。這種系統可以獲得10。3—10。9 Pa的清潔真空，主要殘余氣體是H：。但這種配置由于吸附泵的排氣量有限，起動(dòng)不方便，不適用于抽除氣體量大和頻繁起動(dòng)的場(chǎng)合。如果用機械泵串聯(lián)擋油吸附阱代替吸附泵，可以克服吸附泵排氣量小的缺點(diǎn)，但代價(jià)是喪失了全無(wú)油的優(yōu)點(diǎn)。濺射離子泵系統的缺點(diǎn)是對惰性氣體的抽速很小，不適用于抽除以惰性氣體為主的負載氣體，另外其價(jià)格也較高。

　　鈦升華泵的特點(diǎn)是極限真空度高，可以達到10。9Pa，對活性氣體的抽速很大，但對惰性氣體的抽速為零，因此它不適用于作為經(jīng)常要排除空氣的真空系統的主泵，而適于在擴散泵、分子泵、濺射離子泵系統中作為提高極限真空度的輔助泵使用。

　　低溫冷凝泵是目前所有的真空泵中抽速最大、工作壓強范圍最寬、極限真空度最高(氣氦制冷機低溫冷凝泵可以達到10 -10Pa，液氦型低溫冷凝泵可以達到10 -i3 Pa)的真空泵，而且可以抽除所有氣體，能獲得全無(wú)油清潔真空。由于具有這些突出的優(yōu)點(diǎn)，氣氦制冷機低溫冷凝泵在需要大抽速、超高清潔真空的半導體、新型顯示器件及其他高科技研究和產(chǎn)業(yè)中獲得了日益廣泛的應用。低溫冷凝泵的缺點(diǎn)是價(jià)格很高，運行中需要再生而不能長(cháng)期連續抽氣。

返回頂部 | 返回列表